《表1 异常沉积现象：多晶硅还原反应异常沉积研究》
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异常沉积为在多晶硅还原反应过程中，发生的表观明显异于多晶硅沉积反应的现象，主要呈黄色，质地疏松状物质（见表1）。
| 图表编号 | XD0086493200 严禁用于非法目的 |
|---|---|
| 绘制时间 | 2019.09.11 |
| 作者 | 李东升、陈峰、杨媛丽、姜海明、吴锋 |
| 绘制单位 | 内蒙古神舟硅业有限责任公司、内蒙古神舟硅业有限责任公司、内蒙古神舟硅业有限责任公司、内蒙古神舟硅业有限责任公司、内蒙古神舟硅业有限责任公司 |
| 更多格式 | 高清、无水印（增值服务） |
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