《表1 腔体压力相对标准合成不确定度分析表》

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《小型半密封器件腔体压力变化测量方法研究》

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根据腔体压力测量结果，选取测量时间分别为1h、10h和25h三个测量点，依据评定方法进行了腔体压力相对合成标准不确定度分析，分析结果如表1所示。由表1可以看出，典型测量点的腔体压力相对合成不确定度均在10%以下，而依据图5分析发现，模拟测试件腔体内部的原位测量压力和计算压力之间的最大相对误差小于6%，由此可以进一步说明，本文提出的小型半密封器件腔体压力变化测量方法的正确性。