《表1 退火处理制备石墨烯的工艺参数表》

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《利用非晶SiC在硬质合金上原位生长石墨烯》

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实验主要分为非晶Si C薄膜的溅射沉积镀膜和真空退火两大步骤，具体的操作为：（1）硬质合金基底（YG8）预处理。镀膜前，先将硬质合金试样抛光，之后分别用丙酮和无水乙醇超声波清洗10min，最后将合金基底烘干，送入溅射炉中安装在合适位置。（2）当真空室压强达到3×10-3Pa，真空室温度为150℃时，向真空室中充入氩气至0.50Pa清洗20min，在恒流22A，偏压-100V开始沉积镀膜，沉积时间120min； (3）将沉积Si C薄膜的硬质合金放入HTVO-1200真空高温炉中进行真空退火。退火温度、退火时间和C2H2气流量等参数详见表1。