《表1 不同反应温度下的反应结果》
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《利用等离子反应器从SiF_4与CH_4制备HF和SiC的探索研究》
调节固定床温度，设定好反应时间:包括常温（反应16 h）、100℃（反应8 h）、200～300℃（反应16 h）。设定好时间和温度后，打开反应器。详见表1。
| 图表编号 | XD0080794800 严禁用于非法目的 |
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| 绘制时间 | 2019.05.01 |
| 作者 | 李玉叶、黄忠、田强 |
| 绘制单位 | 云南云天化股份有限公司研发中心、云南省化工研究院、云南省化工研究院、云南云天化股份有限公司研发中心、云南省化工研究院 |
| 更多格式 | 高清、无水印（增值服务） |
