《表1 有限元仿真材料参数》

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《MEMS硅铝异质结构压力传感器的设计制作与测试研究》

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为了验证理论分析的合理性，我们利用ANSYS有限元分析软件对本文设计的硅铝异质结构压力传感器进行建模与应力分析，从而最终确定传感器的尺寸参数。有限元模拟仿真所采用的材料的物理属性如表1所示。