《表2 CMUT阵列设计参数》

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《空气耦合电容式微超声换能器线阵设计与测试》

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阵列的阵元个数越多，阵列的发射声场主瓣宽度越窄，分辨率越高[10]。但是，阵列的个数增多一方面会使得阵列孔径变大，在近场形成近场盲区，使得其应用范围变窄；另一方面阵列个数越多，所需要的通道数越多，驱动电路和放大电路的设计也就越复杂，硬件成本较高。考虑到同CMUT换能器所匹配的硬件电路的设计，本文选择了16×8的线阵阵列，即每16个敏感单元并联组成一列，8列这样的阵元组成一个线阵的换能器阵列。每列将16个敏感单元并联是为了提高换能器的发射强度。综合考虑阵列的成像质量、加工工艺要求以及匹配电路的设计难度，最终所设计的CMUT阵列的参数如表2所示。