《表1 锐度峰值对应表面位置统计》

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《基于表面图像锐度的LIBS自动对焦方法》

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另外，比较三个样品位置最大值对应的位置发现，它们对应的Zpos均不同，这主要是由样品厚度不同引起的.结合图2局部放大图所示的位置关系，考虑样品自身厚度，整理了锐度最大值对应的样品表面位置，见表1.同时计算了同一样品不同目标区域选择下，锐度最大值对应表面位置（Surface position）的均值、标准差（Standard Deviation，STD）和相对标准差（Relative Standard Deviation，RSTD）；以及不同样品在同一目标区域选择下，样品锐度最大值对应表面位置的均值、标准差和相对标准差.