《表4 图5b中指定点的成分析分表》

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《Gd_2O_3对O’-Sialon/Si_3N_4复相陶瓷结构与性能的影响》

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x—Mole fraction.

为了确定样品的成分和元素分布，分析Gd2O3在样品烧结过程中的作用机理，对经1 600℃烧结的样品SN–G6进行EDS分析，结果如图5所示。由元素面分布图5d～图5i可以看出，Si、Al、O和N元素大量分布于相同区域，且分布较为均匀，说明这些区域主要为Si3N4和O’-Sialon晶粒。其中有一小部分区域出现了Al和O元素的富集，即该区域主要为Al2O3晶粒。Gd元素均匀分布于样品中而未出现富集，表明其主要存在于玻璃相中，即Gd2O3通过液相烧结机制促进样品烧结致密化。根据图5中指定点的能谱图和成分分析（图6和表4），确定样品中条棒状的晶粒为β-Si3N4，块状和颗粒状的晶粒为α-Si3N4，而O’-Sialon作为一种由Si3N4、Al2O3和SiO2生成的固溶相存在于Si3N4晶粒的表面。在块状的α-Si3N4晶粒和O’-Sialon晶粒上（点3）出现了大量Ti4+聚集以及少量的Fe3+和Gd3+聚集，说明外来阳离子（Ti4+、Fe3+、Gd3+）的引入，可以促进Al2O3在Si3N4中的固溶，生成更多的O’-Sialon固溶相，从而改善样品性能。