《表1 平面环形腔损耗随光阑短轴尺寸变化的对应关系 (长半轴a=0.875)》

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《光阑误差对平面环形谐振腔损耗的影响分析》

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通过表5可以看到，对尺寸误差而言，短轴尺寸误差使损耗的变化更快，即短轴尺寸误差对损耗的影响比长轴误差对损耗的影响更加显著；对偏移误差而言，短轴方向偏移使损耗的变化更快，即短轴方向偏移误差对损耗的影响比长轴方向的偏移误差对损耗的影响更加显著。对比四种误差项可以发现，在误差为正时，偏移误差引起的损耗大于尺寸误差引起的损耗；在误差为负时，尺寸误差引起的损耗在一定范围内大于偏移误差引起的损耗，超过一定范围后，短轴方向的偏移误差引起的损耗开始超过长轴尺寸误差引起的损耗。考虑到谐振腔实际生产加工过程中误差一般控制在较小的范围（0.03 mm内）内，可以认为在误差为负值时尺寸误差引起的损耗变化要比偏移误差引起的损耗变化显著。