《表2 多晶硅切削废料矿物成分》

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《利用多晶硅切削废料制备硅溶胶的研究》

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为进一步分析多晶硅切削废料的性质，对其进行XRD定性分析及定量分析。从图2中的XRD图谱中可知，多晶硅切削废料的主晶相是晶体硅。但根据XRD的定量分析可知，废料中晶体硅的含量仅为8.3%，而非晶相的含量高达91.0%。结合XRF测试结果，多晶硅切削废料中的主要成分为非晶硅。多晶硅切削废料矿物成分见表2，非晶硅的大量存在为水解法制备硅溶胶提供了理论可能。