《表1 凸起高度测量结果》

《表1 凸起高度测量结果》   提示:宽带有限、当前游客访问压缩模式
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《应用超薄切片技术对侧光型背光源白色反射膜的凸起进行定点切割方法的改进》


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对10个不同位置样品制备完成后,在日本电子JEOL IT300扫描电镜下进行观察、拍照和测量。观察和拍摄过程中使用二次电子探头,工作电压为10kV,测量结果如图5所示。在扫描电镜下观察时发现,样品横截面三层结构完整,无形变,可以清楚地观察到最高凸起纵切面。发现部分样品在切割过程中凸起内的颗粒有脱落现象,突起内可以观察到残留的印记,有时可以在横断面上看到脱落的颗粒物。由于该样品的凸起是一个较大区间,如15~60μm之间,故颗粒脱落对最高凸起测量的影响不大,而且根据对图像测量和观察可以确定,颗粒脱落后,该凸起基本仍是视野内最高处。对凸起进行最大高度H及最小高度h进行测量,分别作差、求平均值,即得到该样品在一个面上凸起的最大高度为36.83μm。该平均值符合专利要求。测量值及结果见表1。