《表5 相控阵和分区聚焦检出缺陷比较情况》

  提示：宽带有限、当前游客访问压缩模式

本系列图表出处文件名：随高清版一同展现

《基于超声环阵相控阵的变孔径聚焦检测技术》

1. 获取 高清版本忘记账户？点击这里登录

1. 下载图表忘记账户？点击这里登录

对检测中发现的缺陷进行统计，并与分区聚焦检测的缺陷进行比较，结果见表5。可以看出，采用变孔径聚焦技术可以检测出当量尺寸在?0.4 mm-20 dB以上的夹杂缺陷，在部分盘件中还能检测出分区聚焦方法未检测出的小缺陷。变孔径聚焦和分区聚焦两种方法对夹杂缺陷的评定结果相差不大。