《表4 金属线详细温升数据示例》

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《鳍式场效应晶体管结合自热效应的电迁移分析》


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加粗行数据的坐标如表7所示,对比表4中的加粗部分可以得出两者的温升、节点名、金属层号基本相吻合。但事实上,Voltus会在±15个同层金属线绕线格点之内选取仿真温升来作为金属线上实际仿真温升的反标,并以此对电流密度检查及进行限制,因此并不是在所有情况下所看到的结果都会满足温升的公式:△TBEOL=F(α×β×△TFEOL)+F(△Trms)。