《表1 不同工艺角的电容值》

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《一种基于运放失调补偿的CMOS传感读出电路》

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二极管型传感器等效电路包含传感器结电容Cpar，微分等效电阻Rpar和串联电阻RSer，其中微分等效电阻Rpar的阻值较大，约为1012?量级，而串联电阻阻RSer值较小，可忽略不计[3]。本次采用的是GSMC 0.13μm标准CMOS工艺中的MIM电容，上下极板分别为第四层、第三层金属，具有良好的匹配性，选取单位电容为50 fF，该工艺下电容值的偏差范围为±15%，表1是该电容在各个工艺角下的电容值。