《表1 不同氧等离子体处理时间的传感器性能对比》
| 图表编号 | B1666573666 |
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| 出版时间 | 2020.01.15 图表说明 ➫ |
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| 作者 | 陈贵东、毛海央、熊继军、王玮冰、陈大鹏 |
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| 研究主题 | 基于烛灰纳米颗粒层的高灵敏度MEMS湿度传感器 |
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| 出版单位 | 中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室、中北大学动态测试技术山西省重点实验室、中国科学院微电子研究所智能感知研发中心、中国科学院微电子研究所智能感知研发中心、无锡物联网创新中心有限公司先进感知事业部、中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室、中北大学动态测试技术山西省重点实验室、中国科学院微电子研究所智能感知研发中心、中国科学院微电子研究所智能感知研发中心、无锡物联网创新中心有限公司先进感知事业部 |
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《表1 不同氧等离子体处理时间的传感器性能对比》图表
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基于烛灰纳米颗粒层的高灵敏度MEMS湿度传感器中，图5为湿度传感器性能的测试装置示意图。图中，湿度传感器放置在SDJS701B型快速湿度变化箱内，该湿度箱内部湿度由控制系统控制，湿度传感器两端的金属电极通过导线连接至高精度万用表（Agilent 34410A），高精度万用表用于检测湿度传感器在不同湿度环境下的电阻变化情况。本文所有的测试实验均在25℃下完成。采用如图5所示的系统对三种不同等离子体处理时间的传感器性能进行对比，如表1所示，可知综合湿敏区间和灵敏度，等离子体处理2 min效果最好。
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