《表1 不同氧等离子体处理时间的传感器性能对比》

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《基于烛灰纳米颗粒层的高灵敏度MEMS湿度传感器》

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图5为湿度传感器性能的测试装置示意图。图中，湿度传感器放置在SDJS701B型快速湿度变化箱内，该湿度箱内部湿度由控制系统控制，湿度传感器两端的金属电极通过导线连接至高精度万用表（Agilent 34410A），高精度万用表用于检测湿度传感器在不同湿度环境下的电阻变化情况。本文所有的测试实验均在25℃下完成。采用如图5所示的系统对三种不同等离子体处理时间的传感器性能进行对比，如表1所示，可知综合湿敏区间和灵敏度，等离子体处理2 min效果最好。