《表2 镍镀层残余应力测试结果》

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《基于纳米压痕技术的兆声辅助电铸微器件残余应力研究》

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镍镀层样片制作时，铸液成分、电铸环境温度和pH等参数参照器件样片制作工艺。镍镀层样片制作完成后，首先使用D8 Discover X射线衍射仪对电铸层的残余应力进行测量，选择0°、15°、30°和45°作为倾角ψ，接收端采用了0.2 mm×10 mm的狭缝控制测量区域，其他测量条件和残余应力计算方法见参考文献[20]。完成位置Ⅰ测试后，移动样片至位置Ⅱ和Ⅲ分别进行测量。最后选用尺寸为23 mm×15 mm×2.5 mm的高纯度镍板作为无应力标样，按照纳米压痕测试步骤对镍镀层样片进行纳米压痕实验，结果见表2。