《表1 不同质量比的ITO粉定量分析结果（%）》

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《X射线衍射法分析掺锡氧化铟粉中的物相成分》

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从图2可以看出3种不同质量比的样品中物相成分是一致的，均为氧化铟锡相（InxSnyOz）和SnO2。随着In2O3含量增加、SnO2含量减少，对应谱图中的氧化铟锡相（InxSnyOz）的特征谱峰强度增强，SnO2的特征谱峰强度减弱。通过Highscore plus中的全谱拟合来对三种样品进行定量分析发现，共沉淀法制得不同质量比的掺锡氧化铟粉中，约有60%的Sn掺杂形成氧化铟锡相。锡元素在氧化铟锡相、氧化锡相的配分含量见表1。