《表1 底电极的制备条件》

  提示：宽带有限、当前游客访问压缩模式

本系列图表出处文件名：随高清版一同展现

《xBiInO_3-(1-x)PbTiO_3薄膜的横向压电特性》

1. 获取 高清版本忘记账户？点击这里登录

1. 下载图表忘记账户？点击这里登录

为此，在Pt（100）底电极上溅射一层SrRu O3（SRO）（101） 缓冲层，Pt（100）和SRO（101）的制备条件分别列于表1和表2中。SRO具有高化学稳定性、高热稳定性、高电导率和良好的晶格匹配度，并且具有与钛酸铅基铁电材料（PZT、PT等）类似的晶体结构，因此选用SRO作为缓冲层。