《表2 不锈钢表面改性层的制备工艺》

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《不锈钢雕塑的表面处理技术研究》

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对不锈钢基材进行清洗、除油和吹干后，采用JC500型磁控溅射仪在不锈钢基材表面进行改性层制备，TiN和TiN/Ti涂层（Ti作为过渡层）的制备工艺参数见表2。磁控溅射过程中保证试样与靶材之间的极间距为75mm，氩气流量控制在68SCCM以保证工作真空度，并通入氩气作为保护气。