《表2 S1和S2两种涂层纳米压痕硬度H和H 3/E 2》

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《微喷砂处理对TiN/MT-TiCN/Al_2O_3/TiOCN多层涂层摩擦磨损性能的影响》

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为进一步探究微喷砂对涂层各单层的影响，采用纳米压痕仪测量了S1和S2两种涂层TiOCN层和Al2O3层的纳米压痕硬度H和弹性模量E，并计算相应的H3/E2，如表2所示。微喷砂后，TiOCN顶层的纳米压痕硬度由之前的36.31 GPa增大至39.32 GPa，Al2O3层硬度变化较少。H3/E2表示材料抵抗塑性变形的能力，其值越大，说明抗塑性变形能力越强，耐磨损性能越好[18]。经过计算，S1和S2涂层的TiOCN顶层的H3/E2分别为0.162与0.167，微喷砂对TiOCN顶层的抗塑性变形能力影响不大。而Al2O3层的H3/E2在微喷砂后从之前的0.104下降至0.088，抗塑性变形能力下降。