《表1 工作距离为2.865 mm时的系统参数》

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《高功率密度微焦斑X射线源聚焦系统的设计》

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整个聚焦系统的透镜位置安排如图8所示，交叉斑的位置为7.8 mm，聚光镜、辅助聚光镜、物镜的位置分别为80 mm、152 mm、294.5 mm。采用MEBS公司专业电子束计算软件得到各透镜的轴上场分布及其一阶导数、电子运动轨迹和电子束束斑分布如图9～11所示。图10展示了电子束各方向（X、Y、R）的运动轨迹，辅助聚光镜将电子束聚焦为平行束。系统在散焦距离为21μm时的电子束束斑最小，其分布图见图11。系统的具体参数和仿真结果如表1所示。