《表1 吹扫控制方式:全氢罩式退火炉氢气吹扫系统优化》

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《全氢罩式退火炉氢气吹扫系统优化》


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(6) 吹扫过程,氢气流量实际值与设定值进行实时对比,若与设定值偏差过大,则系统发出报警,并自动进入吹扫系统自清洗工艺段,直至吹扫流量恢复设定值,其控制方式见表1。