《表1 检漏结果验证Tab.1 Test results of the highly accurate ultrasensitive leak-de-tector》

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《一种下限为5×10~(-16)Pa·m~3/s的高精度超灵敏度检漏装置》

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由于当前商用漏孔可提供的漏率下限为10-12Pa·m3/s，无法采用标准漏孔比较的方法验证检漏结果。实验采用一台标准气体流量计提供10-13～10-16Pa·m3/s的泄漏漏率模拟漏孔，实验结果如表1所列。由表1可知，所研制装置的检漏结果与已知漏率最大偏差为11%，从而旁证装置检漏结果的可靠性。