《表5 高纯钽样品部分元素分析结果比较》

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《辉光放电质谱法在高纯材料分析中的应用》

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钽制品在电子、化工、航空航天及武器领域均有重要应用，近年来随着电子工业的不断发展，对高纯钽制品的需求也不断增大[23]。高纯钽中的杂质含量大多在ppm至ppb级，甚至更低，因此对高纯钽中痕量杂质元素的全面准确分析提出了较高要求。陈刚等人在对GDMS法的研究中，实现了高纯钽样品中76种元素的同时测定，并且将采用针状池和片状池两种不同构造放电池的测试结果进行了对比，研究其影响（表4），最后将结果与电感耦合等离子体质谱法（ICPMS）定量分析的结果进行比较，结果一致（表5）[24]。这表明在没有标样的条件下，GDMS对高纯钽样品的分析有较高的准确度。