《表1 多晶硅酸洗前后杂质含量测试》

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《淬火技术对酸洗法提纯多晶硅的催化作用》

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注:（1）熔化硅内部杂质含量；（2）单位:质量分数的×10-6。

多晶硅杂质脱除率η=100%×（原料多晶硅杂质含量-提纯后杂质含量）/原料多晶硅杂质含量，多晶硅杂质含量测试结果如表1所示。