《表2 PSD光照补偿试验数据》

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注:弱背景光下补偿前和补偿后的误差标准差分别为0.058 0，0.047 3mm，强背景光下补偿前和补偿后的误差标准差分别为0.208 3，0.072 4mm。

为了研究背景光对PSD输出的影响，验证提出的背景光补偿算法，在试验环境温度不发生变化的前提下，通过调节实验室的灯光亮度来模拟弱背景光和强背景光，测试环境见图2。在强、弱背景光条件下，调节电动位移台在-10～10 mm间上下移动，每间隔1mm进行一次测量，PSD光照补偿试验数据见表2。