《表2 荧光无损探测统计表》

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《荧光成像技术探测熔石英元件亚表面缺陷》

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为了便于数据分析，利用相关软件进行统计分析，获得各个样品的缺陷所占面积比，如表2所示。编号为Ort3的熔石英样品亚表面中的缺陷密度和缺陷所占面积比最大，说明点状的荧光强区与线状的荧光强区面积总和最大，即抗激光损伤能力最差。同理，编号为Ort2的熔石英样品亚表面中的缺陷密度和缺陷所占面积比最小，说明点状的荧光强区与线状的荧光强区面积总和最小，即抗激光损伤能力最强，稳定性最好[21-23]。