《表3 各衰减电阻结构参数优化值》

《表3 各衰减电阻结构参数优化值》   提示:宽带有限、当前游客访问压缩模式
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《一种基于高阻硅衬底的高精度RF MEMS衰减器设计》


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衰减电阻的结构示意图如图5所示.设定Ip为Rp的长度值,Wp为Rp的宽度值;Is为Rs的长度值,Ws为Rs的宽度值.由于共面波导(CPW)的尺寸已经确定,所以,通过仿真设计,得到各衰减电阻尺寸如表3所示.