《表3 各衰减电阻结构参数优化值》
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《一种基于高阻硅衬底的高精度RF MEMS衰减器设计》
衰减电阻的结构示意图如图5所示.设定Ip为Rp的长度值,Wp为Rp的宽度值;Is为Rs的长度值,Ws为Rs的宽度值.由于共面波导(CPW)的尺寸已经确定,所以,通过仿真设计,得到各衰减电阻尺寸如表3所示.
图表编号 | XD0032947300 严禁用于非法目的 |
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绘制时间 | 2019.06.01 |
作者 | 张一飞、李孟委、吴倩楠 |
绘制单位 | 中北大学电子测试技术国家重点实验室、中北大学仪器与电子学院、中北大学微系统集成研究中心、中北大学电子测试技术国家重点实验室、中北大学仪器与电子学院、中北大学微系统集成研究中心、中北大学微系统集成研究中心、中北大学理学院 |
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