《表3 4种甲基氯硅烷的加标回收率和相对偏差 (n=6)》

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《气相色谱-质谱法同时测定高纯三氯氢硅中4种甲基氯硅烷的方法研究》

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取低、中、高浓度的甲基氯硅烷混合标准溶液分别加入三氯氢硅样品中，然后与未加甲基氯硅烷标样的三氯氢硅样品，根据2.1节平行进行处理及色谱分析，各做6次求平均值，计算回收率，结果表明，4种甲基氯硅烷在四氯化硅种的回收率在81.68%～106.69%，相对标准偏差为2.60%～12.22%，见表3。该方法重现性好，可快速灵敏的测定三氯氢硅/四氯化硅样品种4种甲基氯硅烷。