《表1 透镜参数Tab.1 Parameters of lens》

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《埋入光纤挠性基板的光电耦合模块设计》

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耦合模块结构的初始上下球面透镜的直径都为200μm，曲率半径都先假定为200μm。由于下球面透镜的直径为200μm，为了使下球面透镜不与耦合模块直接接触，所以设定45°反射镜的垂直高度H3=300μm，略大于透镜的直径。同时，为了保护球面透镜的表面光洁性，设定D1和H2都为250μm，其中D1的长度决定了光纤到球面透镜的距离，H2和焊点的高度决定了发射器到球面透镜的距离。考虑到PCB的厚度，设定耦合模块的高度H4=2 mm，所以H1=1.7 mm。使用Zemax软件模拟并优化透镜的尺寸，仿真光路如图3所示，优化后得到的透镜参数如表1所示。