《表3 运动定位系统参数》

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《气膜冷却孔飞秒激光加工技术与设备》

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该工作站主要组成为激光器、运动定位系统、视觉监测系统、控制系统等。它集成了激光微加工中所需的一切元器件以及软件。软件接口采用工业标准G代码形式。表3和表4分别为该系统运动定位系统、视觉监测系统的参数。