《表3 典型平面微雷管的结构对比Tab.3 Comparision of typical micro-detonators》

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《硅基平面微雷管设计研究》


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由性能测试结果可知，设计的硅基平面微雷管实现了发火及正常起爆下一级装药的功能，说明设计方案是可行的。其与国内外典型的基于MEMS工艺的微雷管结构及参数对比如表3所示。

图表编号XD0025045100    严禁用于非法目的
绘制时间2018.02.01
作者解瑞珍、张凡、刘兰、任小明、薛艳、刘卫
绘制单位陕西应用物理化学研究所应用物理化学重点实验室、陕西应用物理化学研究所应用物理化学重点实验室、陕西应用物理化学研究所应用物理化学重点实验室、陕西应用物理化学研究所应用物理化学重点实验室、陕西应用物理化学研究所应用物理化学重点实验室、陕西应用物理化学研究所应用物理化学重点实验室
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