《表2 微铣刀制作过程：微铣刀在位放电制备及微铣削实验》

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《微铣刀在位放电制备及微铣削实验》

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微铣刀的制作利用WEDG装置，分为4个阶段:刀坯光整、D形刀头成形、底面倾角成形和刃倾角成形。刀坯光整时，为了提高加工效率先选用粗加工参数快速获得刀颈形状，刀坯旋转，电极丝从刀坯上端切入，使电极丝沿着刀坯的包络线从上到下移动，并沿刀坯径向方向进给，分层加工，加工时对刀头尺寸在线测量，实时反馈调整单层进给量，以实现对刀颈半锥角、刀头直径和长度的精度控制，直到最后一层加工时选用精加工参数，从而实现对刀坯刀颈的光整。通过主轴带动刀坯旋转光整刀坯回转面的方式，可以消除刀具装夹在主轴上时偏心、倾斜造成的装夹误差，使加工后的刀坯几何轴线与机床回转轴线重合。D形刀头成形时刀坯不旋转，采用半精加工方式，为获得锋利的主切削刃，电极丝从上到下运动，分层进给，在位测量刀头尺寸，保证刀头形状精度、刀刃长度的尺寸精度。底面倾角成形时刀坯顺时针旋转90°即停止，精加工，电极丝径向进给，通过长度尺寸控制底面倾角的精度。各阶段的线电极相对刀坯的相对移动轨迹如表2所示。在光学显微镜下多角度多倍率观察所制备微铣刀，其特征如图5所示，可见其D形刀头、底面倾角和刃倾角结构明显存在，刀头直径为76.59μm，底面倾角为19.86°，而刀具直径和刀颈半锥角的设计值分别为80μm、20°，可见加工精度良好。以上结果表明，所制备的微铣刀的几何形状精度良好。