《表1 工业级SF6原料组成》

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《基于ASPEN PLUS的六氟化硫提纯工艺研究》

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工业级的SF6气体纯度只有99.5%，同时含有Air、CF4、C2F6、C3F8杂质，其中C2F6和SF6的沸点比较接近。在常温常压下，C2F6的沸点是-78℃，C3F8的沸点是-37℃，SF6的沸点是-63℃。在高压低温状态下，C2F6液化温度比SF6低6℃，C3F8液化温度比SF6高5℃，是比较难分离的物质。某工厂工业级SF6气体组成如表1所示。