《表4 各测试系统综合性能对比》

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《一种高精度直流参数测试系统的设计与实现》

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表4中列出了本文设计的测试系统与大功率直流参数测试系统[10]、基于高度集成芯片AD5520和AD5522搭建的测试系统[15-16]的参数指标．可以看出，使用集成测量芯片搭建的测试系统（AD5520系统和AD5522系统），测试范围较窄，相对误差较大；大功率直流参数测试系统具有较宽的电压/电流范围，但是测量精度不高，适用于一般的大功率模拟集成电路的测试．本文采用分立器件搭建基于FPGA的直流参数测试平台在保证电压/电流施加宽度的同时保证系统具有较高的精度，适用于现阶段通用集成电路的测试，特别是三维闪存芯片的直流参数测试．