《表2 EBS密封性测试数据》
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通过表可知所有测试项的泄漏量均小于0.1 k Pa，达到测试标准要求[11-12]。分析数据可知从表中气控条件下的泄漏量也比电控略大。
| 图表编号 | XD00224590000 严禁用于非法目的 |
|---|---|
| 绘制时间 | 2020.10.20 |
| 作者 | 赵静、王芷薇、郭斌、卢洁 |
| 绘制单位 | 杭州沃镭智能科技股份有限公司、中国计量大学计量测试工程学院、杭州沃镭智能科技股份有限公司、中国计量大学计量测试工程学院 |
| 更多格式 | 高清、无水印（增值服务） |
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