《表1 仿真的叠层温度Tab.1 Simulated stack temperature》

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《高功率体声波谐振器的自热效应及其修正》

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（℃）

声-电磁-热多物理场协同仿真的第二步是电磁-热耦合。在声-电磁模型中，利用HFSS中的剪切板控件，将BAWR的3D电磁模型导入到热仿真软件e-Physics中，并设置材料和边界条件。这样便可快速地由电磁模型构建出BAWR的热模型。通过软件自带的数据链接（data link）功能可实现电磁-热耦合。在热模型的分析求解中需设置“外部损耗导入”和“网格导入”。前者意味着将电磁仿真得到的耗散功率作为热源导入到热模型中，后者意味着将电磁模型中的有限元网格导入到热模型中。通过在e-Physics中链接HFSS仿真文件的路径，实现从电磁模型到热模型的映射，可将BAWR电磁模型中每个有限元网格内的耗散功率加载到BAWR热模型中的同一个有限元网格内，为热稳态分析提供输入条件。在实现电磁-热耦合仿真之后，得到BAWR的整体温度分布（见图4）以及各叠层（压电层AIN、顶电极层Mo_top、底电极层Mo_bottom）的平均温度和最高温度（见表1）。