《表3 主要元素能谱分析结果》

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《抽真空管线穿孔失效分析》

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用日本JSM-6510扫描电子显微镜和牛津X-Max20能谱仪分别对穿孔附近外壁、远离穿孔处的管段6点钟位置外壁及内壁表面的腐蚀产物进行形貌（图5）观察和微区成分分析（表3）。由分析结果可知，该部位外壁表面腐蚀产物呈颗粒状、块状，整体较松散（图5a，b）；内壁表面腐蚀产物较致密（图5c）。外壁和内壁表面腐蚀产物均以铁的氧化物为主，还有少量铁的硫化物，外壁表面的S元素含量较内壁高，同时外壁表面含有大量Cl-。此外，外壁和内壁表面均存在大量的Na、Mg、Al、Si、K、Ca等杂质元素。