《表1 MFEDI产水水质》

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《18MΩ超纯水工艺方案的技术比选研究》


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对方案中主要设备的指标完成情况进行了比对,具体见表1。由表可知,MFEDI产水电阻率和Si O2指标要求均已达到进口EDI设备产水品质。