《表1 V形微结构超声操控平台相关参数》

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《微颗粒声操控的理论及试验》

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依据上述理论分析结果，在多物理场有限元分析软件Comsol中，对现有的V形微结构超声操控平台进行了声流场分析。器件通过光刻工艺制作，在石英基板上表面制备一层V形的微结构阵列，下表面黏贴一片压电陶瓷，用于激发微结构的超声振动，所用器件的具体结构如图1所示，相关尺寸参数如表1所示。