《表2 加大CO2流量验证实验》

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《TFT LCD光配向制程对低灰阶画面抖动的影响》

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由表2可知，随着CO2流量的增加，水阻值呈线性下降，产品发生画面抖动不良的概率亦随着下降，当CO2流量为3L/min时，水阻值为0.12MΩ·cm，此时不良发生的概率为0%，通过增大CO2流量，降低水阻值，可完全去除玻璃基板的静电。平行展开至PI其他机台确认，发现由于机台设备差异和静电发生随机性的原因，相同的CO2流量，水阻值并不完全相同，为了完全去除玻璃基板静电，避免后制程发生画面抖动不良，对CO2流量和水阻值分别进行监控，确保CO2流量大于3L/min，水阻值小于0.12MΩ·cm，并平行展开至其他机台，导入此改善条件后，后续未再发生画面抖动不良。