《表1 镍基合金的元素含量》

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《高真空环境下激光诱导击穿光谱技术对镍基合金的定量分析研究》

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将5种镍基合金（美国加联仪器有限公司）作为研究对象，样品牌号分别为73M67C、73M65C、78XH2C、2KHC5、73M257A，各元素的含量（w/%）列于表1中。实验过程中，激光能量为100mJ，烧蚀坑的直径为0.9mm，真空腔室的气压为10-3 Pa，光谱的采集门延时为100ns，积分时间为1μs，增益为3 000，每10个激光脉冲产生的光谱信号进行平均。该参数下采集的光谱信背比最佳。每个样品采集5个点，每个点采集10个光谱，即每个样品获得50组光谱数据。图2展示了样品2KHC5的部分光谱图，图2中的光谱强度已考虑光谱仪的响应效率。