《表1 仿真过程中系统设置的参数》

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《使用反应分子动力学模拟碳化硅的原子去除机理》

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仿真过程分为4个阶段:1)碳化硅与羟基自由基水溶液之间化学反应2 ps；2)金刚石磨粒以50 m/s的速度向z轴负方向移动，直至压力达到设定值；3)金刚石磨粒以一定速度沿x轴负方向运动，使其在碳化硅表面滑动．仿真过程中系统设置的参数如表1所示．