《表2 微齿轮成形件基圆齿厚及齿高测量值》

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《TA15钛合金齿轮结构电流辅助微成形工艺研究》

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通过激光共聚焦显微镜进一步分析了齿形轮廓尺寸精度，由于放大倍数较大，无法扫描全貌，因此取一侧的4个齿为研究对象。图9a，9b和图9c，9d分别为No.1成形件和No.2成形件的激光共聚焦照片，分别测量所研究齿形的齿高及基圆齿厚，如表2所示。两个微齿轮件的基圆齿厚分别为373.75μm和368.97μm，与标准齿形的基圆厚度362μm对比，说明微齿轮件的齿形侧面成形精度较好。从齿高数据可以看出，齿形成形不均匀，填充效果No.2成形件较No.1成形件有所提高。