《表1 0 AFM和XRD测试结果》

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《钛酸锶单原子台阶高度标准物质的研制》


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采用原子力显微镜(AFM)及STO单原子台阶高度的理论值对XRD定值结果进行验证。具体验证过程如下:在STO单原子台阶高度样品有效测试区域内选择5个不同位置的单原子台阶,通过AFM方法测试并计算台阶高度值。所得结果与XRD定值结果进行比较,结果见表10。