《表1 基体和膜层表面元素测试结果(质量分数，%)》

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《镁合金表面纳米TiSiN复合薄膜的制备及其结构和耐蚀耐磨性能分析》

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薄膜表面各元素含量通过荧光光谱峰强度和背底强度的FP算法得出，其结果如表1和图1所示.由于Li元素不在XRF测试范围之内，所以Li含量采取余量计算获得.表1表明AZ31和Mg8Li两组镁合金上薄膜的元素含量相近，且Ti和Si两元素的含量比分别为4.13和4.22，这个比值与Ti Si合金靶中Ti和Si的比例接近.沉积在AZ31上的薄膜中Ti和Si的含量略高于沉积在Mg8Li上的薄膜，这主要是在沉积工艺参数和入射能量完全一致的情况下，沉积粒子在不同基体表面迁移速度不同导致的.