《表2 特气流量调整值研究方案Tab.2 Study program of special gas modulation flow adjustment value》
A组使用调试片调整膜厚折射率合格后直接投入,B组实验投入前使用初始特气流量值进行镀膜调试,调试片两侧有红边,且中间一片膜厚偏厚,故对最后一组特气流量进行调整,打开两侧流量计,调整各管路流量值,至膜厚折射率合格,最终确定实验参数,如表2。
图表编号 | XD0019707700 严禁用于非法目的 |
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绘制时间 | 2018.06.30 |
作者 | 张晓朋、李翠双、刘海金、闫兰、赵培 |
绘制单位 | 英利能源(中国)有限公司光伏材料与技术国家重点实验室、英利能源(中国)有限公司光伏材料与技术国家重点实验室、英利能源(中国)有限公司光伏材料与技术国家重点实验室、英利能源(中国)有限公司光伏材料与技术国家重点实验室、英利能源(中国)有限公司光伏材料与技术国家重点实验室 |
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