《表2 特气流量调整值研究方案Tab.2 Study program of special gas modulation flow adjustment value》

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《板式PECVD镀膜均匀性及颜色优化研究》


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A组使用调试片调整膜厚折射率合格后直接投入,B组实验投入前使用初始特气流量值进行镀膜调试,调试片两侧有红边,且中间一片膜厚偏厚,故对最后一组特气流量进行调整,打开两侧流量计,调整各管路流量值,至膜厚折射率合格,最终确定实验参数,如表2。