《表1 补偿活塞尺寸复查：主动活塞式气体流量标准装置的校准探讨》

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《主动活塞式气体流量标准装置的校准探讨》

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使用最大允许误差为±（0.6+L/600）μm的坐标测量机和最大允许误差为±（15+6L）μm的激光跟踪仪对柱形活塞进行直径测量，以及使用一等标准金属量器对活塞容积进行测量，测量数据和计算结果如表1所示。