《表1 不同方法识别设备压力和转速异常准确率》

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《深度学习的光学超精密制造设备状态模式识别》


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统计采用本文方法模式识别光学超精密制造设备压力和转速异常状态识别准确率,并将本文方法与支持向量机以及HMM对比,对比结果如表1所示。