《表3 不同工艺参数下有效去除率变化表》

  提示：宽带有限、当前游客访问压缩模式

本系列图表出处文件名：随高清版一同展现

《离子束加工中全频段误差的演变》

1. 获取 高清版本忘记账户？点击这里登录

1. 下载图表忘记账户？点击这里登录

根据样件的初始面形和式（3），针对不同频段的面形误差设置不同的工艺参数，第1组与第2、3组比较，其他工艺参数不变的情况下，加大了气体流量与电离电压，第4组与前三组相比，缩小了栅格口径，降低了气体流量、电离电压及作用距离，由此获得了不同的去除函数及不同频段的有效去除率，如表3所示。